
什么是微压力传感器 听我说一下力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器,而我们通常
回答:力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器,而我们通常使用的压力传感器主要是利用压电效应制造而成的,这样的传感器也称为压电传感器. 我们知道,晶体是各向异性的,非晶体是各向同性的.某些晶体介质,当沿着一定方向受到机械... |
回答:包括下列步骤:在半导体衬底中形成压力腔开口;在半导体衬底上键合绝缘体上硅基片,形成压力腔,所述绝缘体上硅基片包括顶层硅层、埋氧层和衬底硅层,其中顶层硅与半导体衬底键合;去除衬底硅层至露出埋氧层;在埋氧层上形成氧化硅层;蚀刻氧化硅层和埋氧层至露出顶层硅层,形成与后续敏感电阻位置对应的开口;沿开口向顶层硅层注入离子,形成敏感电阻;在氧化硅层上形成导电层,且导电层填充满开口,形成与敏感电阻连通的电极.还提供一种微机电系统压力传感器.本方法的敏感膜厚度和敏感电阻位置可以精确控制,从而提高压力传感器的灵敏度和线性度. |
MEMS压力传感器在汽车中是如何工作的
回答:MEMS是一种微机电系统,基于这种技术的传感器做的都是微型设备.若是学生的话可以上中国知网看一下类似文章.比如基于MEMS 工艺技术的无线网络压力传感器芯片设计及应用研究山东大学的 |
在哪里可以买到微型精密压力传感器,2个要求,体积小, 精却度高, 在哪里可以买到微型精密压力传感器,2个要求,体积小, 精却度高,: 长沙泽天电子 是做压力传感器的,如果您有什么特殊的 技术要求,可以实行定制的.